Dispositifs et physique des microsystèmes sur silicium
- Éditeur
- Lavoisier-Hermès
- Format
- Livre Broché
- Collection
- Traité EGEM, Electronique et micro-électronique
- Langue
- Français
- Parution
- 09 - 2002
- Nombre de pages
- 224
- EAN
- 9782746205079
- Dimensions
- 160 × 240 × 10 mm
Résumé du livre
Présente les principales applications de ces microsystèmes. Ils sont classés, suivant le domaine d'énergie des signaux considérés, en tant que microdispositifs mécaniques, thermiques, magnétiques, chimiques ou de rayonnement.